Оснастка для изготовления интегральных схем предназначена для эксплуатации в высокотемпературных процессах производства больших интегральных схем (БИС) и сверхбольших интегральных схем (СБИС).
Оснастка представляет собой комплект изделий – реактор, бесконтактный носитель, кассеты.
По сравнению с известными аналогами (оснастка из кварца) оснастка из карбида кремния обладает следующими преимуществами:
- резкое снижение диффузии примесей через стенки реактора;
- возможность повышения рабочей температуры до 1350О С;
- увеличение срока службы оснастки в 10-15 раз;
- исключение заклинивания и поломки кремневых пластин вследствие близости коэффициентов термического расширения кремния и карбида кремния;
- возможность проведения очистки оснастки на любой стадии производства и эксплуатации благодаря высокой коррозийной стойкости и твердости карбида кремния;
- совместимость карбида кремния со всеми материалами технологического процесса;
- широкая возможность автоматизации процесса.
