Оснастка из карбида кремния для производства БИС и СБИС

Оснастка для изготовления интегральных схем предназначена для эксплуатации в высокотемпературных процессах производства больших интегральных схем (БИС) и сверхбольших интегральных схем (СБИС).

Оснастка представляет собой комплект изделий – реактор, бесконтактный носитель, кассеты.

По сравнению с известными аналогами (оснастка из кварца) оснастка из карбида кремния обладает следующими преимуществами:

  • резкое снижение диффузии примесей через стенки реактора;
  • возможность повышения рабочей температуры до 1350О С;
  • увеличение срока службы оснастки в 10-15 раз;
  • исключение заклинивания и поломки кремневых пластин вследствие близости коэффициентов термического расширения кремния и карбида кремния;
  • возможность проведения очистки оснастки на любой стадии производства и эксплуатации благодаря высокой коррозийной стойкости и твердости карбида кремния;
  • совместимость карбида кремния со всеми материалами технологического процесса;
  • широкая возможность автоматизации процесса.

carbid-details