Предприятие в сотрудничестве с российскими учеными и отечественными предприятиями создало полную цепочку технологического и аналитического оборудования для производства особо чистого гексафторида вольфрама с его содержанием не менее 99,999 масс. %
Сотрудники НИИ НПО «ЛУЧ» разработали технологию и аппаратурно-технологическую схему изготовления особо чистого гексафторида вольфрама. В период с 2023 по 2024 год работа проводилась в рамках государственного контракта с Минпромторгом России.
В настоящее время ведутся работы по проектированию и строительству первого в России производственного участка для этого продукта.
«Создание отечественного производства особо чистого гексафторида вольфрама невозможно без разработки технологии полного цикла получения данного соединения, отвечающего современным требованиям охраны труда и экологической безопасности. В результате совместной работы со специалистами Нижегородского государственного университета имени Н. И. Лобачевского, компании ООО «Ферри Ватт», Института химии высокочистых веществ имени Г. Г. Девятых Российской академии наук, Томского государственного университета удалось создать уникальное оборудование для оснащения нового производства. Изготовлены лабораторная и опытная установки сорбционной очистки гексафторида вольфрама, опытная установка ректификационной очистки. Также в настоящее время завершены разработка и аттестация методик измерений газовых и металлических примесей в особо чистом гексафториде вольфрама. Наши научные разработки способствуют развитию импортозамещения, позволяют достичь технологического суверенитета страны», — подчеркнул генеральный директор АО «НИИ НПО «ЛУЧ» Павел Карболин.
Особо чистый гексафторид вольфрама используется в микроэлектронике, например, при производстве полупроводников для осаждения металлического слоя вольфрама из газовой фазы. Этот слой отличается высокой химической и термостабильностью, низким сопротивлением и служит защитой для плат и схем. Также гексафторид вольфрама применяется для получения покрытий и изделий из высокочистого вольфрама методами газофазной металлургии (водородное восстановление, химические транспортные реакции).
Создание нового участка для производства гексафторида вольфрама в России направлено на импортозамещение и технологическую независимость. В настоящее время страна не может обходиться без зарубежных поставок этого важного химического вещества.
