Изделия из газофазного вольфрама

Материал для изготовления изделий из газофазного вольфрама получается методом водородного восстановления гексафторида вольфрама (CVD-метод) на нагретой поверхности подложки по реакции: WF6(г)+ ЗН2(г) = W(тв) + 6HF(г).

Изготавливаемая продукция: трубы, тигли, сетчатые элементы, пластины, диски, вольфрам металлический, обогащенный стабильным изотопом W184, а также вольфрамовые покрытия, нанесенные на подложки диаметром до 200мм.

Трубы для изготовления:

  • нагревателей высокотемпературных печей и устройств;
  • катодов термоэмиссионных и термоэлектрических установок;
  • трубчатых нагревателей с рабочей температурой до 2500° С.

Тигли для:

  • высокотемпературных плавок (лейкосапфир t = 2054° С, оксиды металлов).

Сетчатые элементы (геометрические характеристики – по требованию заказчика) используются в качестве:

  • высокоэффективных нагревателей с рабочей температурой до 2500° С;
  • сеток электронных ламп;
  • распределителей газа в высокотемпературных установках.

Пластины, диски для:

  • высокочистых мишеней магнетронов для микроэлектроники;
  • заготовок для прокатки на высокочистую фольгу.

Вольфрамовые покрытия, диаметр подложек до 200 мм (толщина определяется требованиями заказчика) для покрытий анодов рентгеновских излучателей.

Вольфрам металлический, обогащенный стабильным изотопом W18, применяется в ядерной технике, как имеющий самое низкое сечение захвата тепловых нейтронов.

  • низкие температуры осаждения (500 — 750 °С);
  • получение вольфрамовых осадков высокой чистоты (до 99,999% масс);
  • получение осадков с практически теоретической плотностью (19,3 г/см3);
  • возможность регулирования структуры осадка по его толщине;
  • возможность формирования осадков сложной формы с высокой чистотой обработки внутренней поверхности;
  • возможность получения сплавов на основе вольфрама совместным восстановлением фторидов (W-Re, W-Nb, W-Ta, W-Mo);
  • получения вольфрамовых осадков различного изотопного состава
Наименование Размеры
Трубы Ø 5-150 мм, L до 1500 мм, h до 20 мм
Тигли Ø до300 мм, L до 350 мм, h до 25 мм
Диски Ø 300 мм, толщина до 12 мм
Пластины до 200х200х12 мм